Comprendre comment le processus de revêtement à vide est réalisé

2023-06-26

Revêtement à videest un processus utilisé pour fabriquer des matériaux à couches minces de haute qualité. Il produit des couches minces en évaporant thermiquement ou en pulvérisant des matériaux organiques ou inorganiques sur la surface d'un substrat dans des conditions de vide. Cet article introduira la mise en œuvre du revêtement sous vide en détail.

Le processus de revêtement à vide comprend les étapes suivantes:

1. Choisissez le bon substrat et le bon matériel

Le choix du bon substrat et du bon matériau est la première étape du revêtement à vide. Le substrat peut être en verre, en plastique, en métal ou à d'autres nanomatériaux. Les matériaux peuvent être organiques ou inorganiques, tels que les métaux, les semi-conducteurs, les oxydes ou les nitrures.

2. Chargez le système de revêtement à vide

La deuxième étape consiste à charger le substrat et les matériaux dans le système de revêtement à vide. Le système de revêtement à vide comprend une chambre à vide, un évaporateur métallique, une pulvérisation et un système de contrôle. La chambre à vide est un espace fermé utilisé pour maintenir un environnement sous vide, les évaporateurs métalliques et les croisettes sont des dispositifs utilisés pour évaporer ou pulvériser des matériaux sur des substrats, et le système de contrôle est utilisé pour surveiller et ajuster l'environnement de vide et la vitesse d'évaporation ou de pulvérisation des matériaux.

3. Vacuum

Après le chargement du matériau et du substrat, la chambre à vide doit être évacuée. L'aspirateur est une étape très importante, car le maintien d'un environnement de basse pression et de haute pureté peut garantir la qualité de la membrane. L'environnement sous vide est généralement inférieur à 10 ^ -6 mbar pour exclure les molécules de gaz et autres polluants.

4. Évaporation ou pulvérisation des matériaux

Lorsque l'environnement de vide atteint la pression souhaitée, le matériau peut être évaporé ou pulvérisé sur le substrat. Il existe deux méthodes d'évaporation du matériau: l'évaporation thermique et l'évaporation du faisceau d'électrons. La pulvérisation a également deux méthodes: la pulvérisation du magnétron et la pulvérisation des arcs. Quelle que soit la méthode utilisée, l'évaporation du matériau ou la vitesse de pulvérisation et l'épaisseur du film doivent être contrôlées.

5. faire un film multicouche

Une fois qu'une membrane unique a été fabriquée, plusieurs couches peuvent être empilées pour former un composite. Différents matériaux et processus de dépôt peuvent être utilisés, tels que des dépôts alternés, une co-dépôt de matériaux multi-armes et un dépôt zoné.

6. Tester la qualité de la membrane

La dernière étape consiste à tester la qualité de la membrane. Les tests peuvent inclure l'épaisseur, les propriétés physiques, les propriétés optiques et les propriétés électriques, entre autres. Déterminez si le matériel membranaire répond aux exigences en fonction des résultats des tests.

En bref, la technologie du revêtement à vide est une méthode pour réaliser des couches minces de haute qualité. Il doit sélectionner le substrat et le matériau appropriés, charger le système de revêtement à vide, passer l'aspirateur, un matériau évaporé ou pulvériser, faire un film multicouche et tester la qualité du film. La technologie du revêtement sous vide a été largement utilisée dans les domaines de l'électronique, de l'optique, de la médecine et de l'énergie.
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