Principe de contrôle de la pression de l'équipement de revêtement sous vide

1. Introduction du fond
L'équipement de revêtement à vide est une sorte d'équipement largement utilisé dans la production industrielle. Sa fonction principale est de mettre le matériau qui doit être enduit dans la chambre de revêtement à vide, et par la réaction sous haute température et un environnement de vide élevé, la couche de film est également déposée à la surface du matériau. et former une certaine couche de revêtement avec des fonctions et des caractéristiques spéciales. Parmi eux, le degré de vide et le taux d'adhésion dans l'équipement sont des indicateurs importants affectant la qualité de la couche de revêtement, et la stabilité du degré de vide dépend du contrôle de la pression dans l'équipement.
2. Principe de contrôle de pression de l'équipement de revêtement à vide
1. Définition du degré de vide
Avant d'introduire le principe du contrôle de la pression, il est nécessaire d'introduire ce qu'est le vide. En physique, le vide se réfère à un environnement gazier dont la pression est moins que la pression atmosphérique, de sorte que le degré de vide se réfère à la pression du gaz dans un certain espace. En général, le vide est généralement mesuré en pascaux (PA) ou en mètres (MBAR). Dans l'équipement de revêtement à vide, la plage habituelle de vide est de 10 ^ -6pa ~ 10 ^ -2pa.
2. Le principe du contrôle de la pression
Lorsque le vide est trop élevé ou trop bas, il affectera le fonctionnement normal de l'équipement. Par conséquent, il est nécessaire de contrôler le niveau de vide dans l'équipement par une certaine méthode. Parmi eux, le contrôle de la pression est une méthode de contrôle relativement simple et efficace. Plus précisément, le principe du contrôle de la pression est d'utiliser un contrôleur de pression pour contrôler le débit de gaz dans l'équipement en détectant la pression de l'extrémité contrôlée, puis par le mécanisme de rétroaction, en contrôlant l'ouverture de la valve, afin d'atteindre le but de contrôler la pression.
3. La composition de base du contrôleur de pression
Dans l'équipement de revêtement à vide, un contrôleur de pression est généralement utilisé pour contrôler la pression. Sa composition de base comprend quatre parties: capteur de détection, contrôleur, actionneur et système de contrôle.
Capteur de détection: il est principalement utilisé pour détecter le changement de pression de l'extrémité contrôlée et la convertir en une sortie de signal électrique correspondant à utiliser par le contrôleur.
Contrôleur: Il reçoit principalement la sortie du signal électrique par le capteur, les traite et les analyse, puis renvoie le résultat de l'analyse à l'actionneur pour contrôler le degré d'ouverture de l'actionneur.
Actionneur: Il contrôle principalement le débit de gaz dans l'équipement en contrôlant le degré d'ouverture de la valve, afin d'atteindre le but de contrôler la pression.
Système de contrôle: Il est principalement utilisé pour surveiller et contrôler divers indicateurs dans l'équipement, tels que la température, le degré de vide, etc., et faire une série de stratégies de contrôle.
3. Résumé
En résumé, le principe du contrôle de la pression dans l'équipement de revêtement sous vide est de contrôler la pression dans l'équipement par un mécanisme de rétroaction relativement simple et efficace. Pour établir un tel système de contrôle stable, il faut le support technique de divers aspects du système de contrôle de l'équipement, tels que la surveillance des paramètres, l'algorithme de contrôle, le contrôle de l'actionneur, la liaison du système, etc. Ces facteurs techniques nécessitent la coopération de certains membres du personnel professionnel et technique pour garantir que l'équipement peut montrer plus d'excellentes performances.