Caractéristiques de conception de l'équipement de comparaison de disques multi-rotares

1) La formulation de la forme cylindrique, du grand diamètre et de la structure à parois minces du cylindre fixe 3 et la méthode de détermination de la symétrie axiale peuvent garantir qu'il a une résistance et une rigidité de flexion suffisantes, et en même temps, il peut également empêcher le magnétron à haute température de pulvériser la pollution de la rotation de la rotation de la rotation de la rotation de la rotation.
2) Le schéma de conception du roulement annulaire assis 2 assure les performances d'étanchéité et l'angle vertical de l'installation de roulements assises; Élargit la spécification du diamètre de l'arbre 1, augmente l'intervalle d'installation entre les deux roulements roulants dans le roulement assis 2, et améliore sa propre résistance et sa rigidité de flexion, pour assurer la rigidité de flexion de l'arbre 1 après l'ensemble du processus de rotation, la flexibilité de l'opération de rotation du disque de rotation 15 et la consistance des pièces répétées.
3) Le transport du tissu interchangeable, selon le diamètre de la plaque de soutien élargie 16, la surface totale raisonnable du tissu dans l'angle de vue plane est agrandie, et une pièce comparative avec un grand diamètre (φ26,5 mm) peut être installée, ce qui est bénéfique pour l'ajustement de la boucle et améliore la qualité du film optique; La feuille relative 12 est en verre laminé de type feuille en tant que module de feuille comparatif, et la feuille comparative adopte la méthode d'installation accumulative tridimensionnelle dans l'espace intérieur. Le film est comparé au film, qui résout le problème selon lequel le film optique à double couche à double couche est recouvert de l'équipement de revêtement, et le nombre de films est relativement petit, ce qui affecte le nombre de couches superposées et la précision du revêtement à la surface.
4) Coopérer avec la plaque de positionnement 6 et le coupleur optique de type fente 17, reconnaissez les trois fentes doubles moyennes de 120 ° sur la plaque de positionnement en fonction du coupleur optique de type fente et contrôlez la rotation du moteur pour s'arrêter. La cohérence du positionnement précis de la rotation de l'arbre 1 est assurée à plusieurs reprises, et le disque rotatif 15 est poussé pour effectuer une posture précise de retrait.
5) Le mécanisme de rotation d'étanchéité du scellement introduit le mécanisme d'étanchéité de Wilson 5, qui non seulement assure la rotation sensible du moteur 9 pour conduire l'arbre 1 en fonction du maillot de vitesse, mais assure également l'effet d'étanchéité de la chambre à vide vers le monde extérieur. La machine à revêtement à vide optimisé avec des disques multifotaires est un équipement à couches relativement mince. Ses caractéristiques sont les suivantes: (1) structure simple, résistance à la compression élevée et bonne stabilité; Film optique; (3) par rapport à l'expansion du diamètre du film, la précision de la supervision des films plastiques est améliorée, les exigences pour le système matériel sont réduites et le logiciel système est très facile pour compléter le système de contrôle automatique; (4) Le coût de maintenance est faible.
Selon l'optimisation dumachine à revêtement à videDispositif de comparaison de la lame multifo-rotarien, il assure la coordination et la cohérence répétée de la rotation de la structure relative de la lame et résout le problème que la zone relative est petite, le réglage de la boucle est gênant et la fréquence de signal optique est stable. Il résout le problème de la mauvaise latitude et résout le problème du nombre total de feuilles, ce qui peut améliorer encore la qualité des films optiques recouverts de la machine à revêtement à vide d'origine, et plus de 30 couches de films optiques peuvent être revêtues. L'expérience pratique a prouvé que cette structure comparative de feuilles est efficace et peut être bien commercialisée et mise en œuvre dans le domaine des machines électroniques de revêtement à vide optique aujourd'hui.