Comprendre les exigences environnementales requises par la machine de revêtement sous vide à magnétron

La machine de revêtement sous vide à magnétron doit fonctionner dans un environnement sous vide, de sorte que l'équipement doit répondre aux exigences de la pompe à vide pour l'environnement naturel. Les réglementations sur l'environnement naturel de la pompe à vide incluent généralement les réglementations sur le milieu environnant telles que la température du laboratoire (ou atelier de production) où se trouve la pompe à vide, les particules dans l'air, et les réglementations sur les pièces ou surfaces dans l'environnement sous vide ou dans la pompe à vide. 2 niveau.

Ces deux domaines sont étroitement liés. Les avantages et les inconvénients du milieu environnant peuvent directement mettre en danger l'application conventionnelle de la machine de revêtement sous vide à magnétron ; et si le système de vide de l'équipement de pompe à vide ou les pièces qui y sont installées sont nettoyés et mettent directement en danger les caractéristiques de l'équipement. S'il y a beaucoup de vapeur et de poussière dans l'air, il est difficile d'obtenir la valeur de vide estimée en utilisant la pompe à vide à joint d'huile pour aspirer le système de vide sans le nettoyer. La pompe à vide de type bague d'étanchéité n'est pas adaptée pour pomper la vapeur avec des particules de poussière qui corrodent l'alliage et réfléchissent l'huile de la pompe à vide. La vapeur d'eau est un gaz condensable. Lorsqu'une grande quantité de gaz condensable est extraite, la pollution environnementale de la vanne d'huile sera plus grave. En conséquence, la pompe à vide de la pompe sera abaissée et les caractéristiques d'aspiration de la pompe seront détruites.

La fumée et la poussière dans l'environnement intérieur de la production industrielle sont déterminées par la poudre, les yeux sans titre et la fumée. Les poudres sont des substances chimiques sous la forme d'une combinaison ou d'une dispersion de particules de poudre ou de liquide. La forme de poudre fait référence à la combinaison de fines particules solides, et les particules font référence aux substances chimiques fines qui peuvent être comptées une par une. La fumée épaisse est un système de gestion des substances chimiques dans lequel de fines particules de liquide ou de solution apparaissent dans l'air sous forme de flottement. Les substances chimiques, qu'elles soient solides ou liquides, sont généralement appelées particules fines si elles se présentent sous forme de particules. La spécification de la propreté du gaz est déterminée par le diamètre des particules de poussière, puis le niveau de la salle blanche est personnalisé. Non seulement pour les secteurs industriels avec des réglementations propres, mais aussi pour les pompes à vide pour nettoyer l'environnement naturel.